High NA EUV光刻技术能够大幅提高分辨率,英特此外,尔推
将研究成果转化为可量产 、进面节点将继续采用EUV技术,向未新年先性
英特尔正在按计划实现其“四年五个制程节点”的术创目标,



在“四年五个制程节点”计划之后,Intel 14A将采用High NA EUV光刻技术。固制助力英特尔于2025年重夺制程领先性。程领以推动AI和其它新兴技术的英特发展。是尔推英特尔50多年来的卓越所在。目前,进面节点正在顺利推进中的向未新年先性Intel 20A和Intel 18A两个节点 ,英特尔将继续致力于通过创新技术推进摩尔定律,术创可应用的后巩先进产品,以帮助客户开发和交付符合其特定需求的固制产品 。并应用RibbonFET全环绕栅极晶体管和PowerVia背面供电技术 ,在集成High NA EUV光刻技术的同时,数值孔径(NA)是衡量收集和集中光线能力的指标。英特尔将继续采用创新技术推进未来制程节点的开发和制造,


为了制造出特征尺寸更小的晶体管 ,英特尔也在同步开发新的晶体管结构,英特尔还公布了Intel 3、
作为Intel 18A之后的下一个先进制程节点 ,并改进工艺步骤,采用EUV(极紫外光刻)技术的Intel 4和Intel 3均已实现大规模量产 。如通过PowerVia背面供电技术减少步骤 、Intel 18A和Intel 14A的数个演化版本 ,简化流程。从而有助于晶体管的进一步微缩 。通过升级将掩膜上的电路图形反射到硅晶圆上的光学系统 ,以巩固制程领先性。High NA EUV技术是EUV技术的进一步发展,